无尘室是一个隔离空气中的微小微粒和细菌的房间，因此在灭火时不能使用会扰乱无尘室气流的灭火器。
无尘室内着火需要使用特定的灭火器进行扑灭，常见的适用于无尘室的灭火器包括涂氟灭火器和二氧化碳灭火器。
涂氟灭火器具有速度快、恢复时间短等特点，适用于电子元器件等高负荷设备中发生的小型火灾。
而二氧化碳灭火器的灭火效果好，且不会对设备造成损害，适用于无尘室内电器、仪器等高价值设备的灭火。在选择具体的灭火器时，还需要考虑火灾的规模、物料种类等因素。
无尘室着火一般要选择化学泡沫灭火器，因为这种灭火器可以有效地抑制火焰并使其熄灭。
与干粉灭火器相比，化学泡沫灭火器不会在扑灭火焰时产生灰尘和细小的颗粒物，更适合无尘室使用。
此外，使用二氧化碳灭火器也可以有效地灭火，但需要注意的是要避免人员在无尘室内呼吸过多的二氧化碳而导致中毒。